測(cè)控儀器中，精密機(jī)械系統(tǒng)的設(shè)計(jì)起著十分重要的作用：對(duì)儀器各部分組成起著支撐的作用，保證完成各種復(fù)雜的測(cè)量工作，以獲取被測(cè)量的各種信息，對(duì)保證測(cè)量精度，定位精度和運(yùn)動(dòng)精度起著關(guān)鍵的作用。
  精密機(jī)械系統(tǒng)的精度要求：包括工件的基座、支撐架、導(dǎo)軌、測(cè)量頭架、尾架、機(jī)械和讀數(shù)機(jī)構(gòu)。基座變形控制在亞微。主軸的回轉(zhuǎn)精度達(dá)到0.01微米。
精密機(jī)械系統(tǒng)的功能要求：對(duì)運(yùn)動(dòng)部分進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制，對(duì)點(diǎn)、線和空間曲面進(jìn)行檢測(cè)、自動(dòng)采集和處理數(shù)據(jù)。為達(dá)到以上要求，不僅要提高機(jī)構(gòu)本身的精度和功能，需與計(jì)算機(jī)、光學(xué)電氣、液壓等技術(shù)相結(jié)合，從而達(dá)到高精度、高效率和多功能的要求。